由于掃描電鏡顯微鏡的高分辨率和大焦深，使得它可以對(duì)各種化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行非常詳細(xì)的分析。它打破了傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡采用BSD探測(cè)器成像的局限性，利用創(chuàng)新的雙聚光鏡成像技術(shù)，采用大型掃描電鏡成像方式，使用二次電子探測(cè)器作為基礎(chǔ)成像單元，從而，可以獲得更高的分辨率，是真正意義上的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡。
 

　　在檢查半導(dǎo)體和微電子器件時(shí)，需要靈活選擇和使用操作參數(shù)(加速電壓、樣品傾斜、掃描線時(shí)間等)以及正確的分析程序，以獲得最大的信息。QFN器件中由濕熱環(huán)境(如吸濕)引起的界面裂紋很常見，會(huì)導(dǎo)致器件失效。掃描電鏡顯微鏡可以用來(lái)尋找任何裂縫。用戶可以看到這些裂縫位于界面的哪個(gè)連接處以及它們的擴(kuò)展方向。由于裂紋與界面強(qiáng)度有關(guān)，因此裂紋信息可用于評(píng)估對(duì)QFN器件研究的實(shí)際意義。
 

　　掃描電鏡顯微鏡通常在高真空狀態(tài)下工作。然而，在低真空中，可以觀察到未涂覆導(dǎo)電材料的樣品。在高真空下，充電效應(yīng)不可避免。通過在低真空下對(duì)樣品成像，減少了充電效應(yīng)，圖像更加清晰。最初，為了查看整個(gè)樣本，用戶必須分別拍攝圖像并手動(dòng)合成。然而，利用掃描電鏡的全景拍攝，選定區(qū)域的多個(gè)圖像被自動(dòng)捕獲和組合。它標(biāo)準(zhǔn)配置的兩軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，全自動(dòng)真空系統(tǒng)，全自動(dòng)的電子光學(xué)調(diào)控系統(tǒng)，可以讓用戶從開始到結(jié)束都可以用手指在觸摸屏上進(jìn)行操作。除了全自動(dòng)功能以外，掃描電鏡還提供給更加的用戶所有手動(dòng)調(diào)節(jié)功能，使得儀器幾乎具備大型機(jī)所有的調(diào)節(jié)功能，從而獲得更佳的圖像品質(zhì)。